L'objectif de notre service de chauffage est d'améliorer les performances thermiques des équipements clés et des processus de fabrication de nos clients de semi-conducteurs, de renforcer la recherche et le développement de la chaîne industrielle nationale des semi-conducteurs, de réduire la dépendance à l'égard des chaînes d'approvisionnement externes, en particulier dans la fourniture de matériaux, d'équipements et de technologies clés, et de promouvoir le développement de l'industrie nationale des semi-conducteurs.
Les éléments chauffants sont les suivants :
1. Plaque chauffante en mica :
2. Tige chauffante à semi-conducteur : elle est appliquée à divers chauffages de chambre, à divers traitements de plaquettes et à divers chauffages de transport de gaz.
3. Anneau chauffant semi-conducteur : il est appliqué à un environnement à haute fréquence radio.
